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第二百七十三章 十纳米级的碳基芯片（第3页）

“即便是一台小汽车从房间外行驶而过都会对光刻机的精度造成影响。”

“所以除了放置光刻机的楼层一般都会有特殊的避震设计外，光刻机本身也会自带隔振器，起到保护作用。”

而直播间里面的网友见韩元避开碳基芯片不正面回答他们的问题，纷纷在直播间里面声讨衰鸣装可怜起来。

【别啊，主播，咱还是聊聊碳基芯片吧，减震系统有啥好聊的。】

【是啊是啊，我想听碳基芯片是怎么造的。】

【我室友得了肺癌，只有一天可活了，临死前只想听听碳基芯片，主播你就满足这个愿望吧。】

【一个减震而已，有什么好说的，爸爸，我想听碳基芯片！】

【你们是不是也太小看减震的重要性了吧？对于光刻机这种精密度极高的设备来说，稍有震动就没法使用了，甚至这种震动弱到你都可能感觉不到。】

【楼上说的有道理，我北大的，16号线就因为我学校的精密仪器改线了。】

【好奇的问一下，光刻机的避震，还是用的弹簧吗？】

【这个问题我可以回答你，光刻机当然用的不是弹簧这种low比东西，至于用的什么，我也不知道§（*￣▽￣*）§】

【高性能主动隔振装置！我们公司就有这个卖，需要吗？价格不贵，几十万一台而已。】

【？？？？？】

【卧槽，还不贵？】

【想啥呢，这种几十万的，顶多用于光学仪器上，能用于光刻机上的避震，估计最少都是几百万起步的。】

【人家一台光刻机卖一个多亿，米金！几百万的避震，那是小意思好吗？】

.......

韩元看了眼弹幕，笑道：“隔振装置一般分成两种。”

“第一种是被动隔振，像弹簧、橡胶、海绵、泡沫等这些都属于被动隔振装置或材料。”

“这些装置或材料通过减小传递到接受结构的振动强度来实现减震，有着结构简单、易于实现、工作可靠、不需要额外消耗外界能源等优点”

“但缺点是避震效果一般，对于高精密的仪器比如光刻机或者光学透镜来说基本没什么用。”

“第二种则是主动隔振装置。”

“这种装置其实就是一个个的动作器，但这些动作器能根据检测到的振动信号，应用一定的控制策略驱动作动器，从而达到抑制或消除振动的目的。”

“我手中的图纸上绘制的，就是一种高性能的主动隔振装置。”

说着，韩元也来到了合金冶炼厂，推开大门，手中的图纸铺开，展示给观众看。

从最上面的整体结构图来看，绘制出来的主动隔振装置就像一张床垫一样。

翻开第二页、第三页、第四页.......直播间里面的观众才看到里面精密无比的零件构造。

繁多的零件上都标注着对应的名字，有传感器、测振仪、空气弹簧、作动器、驱动器、激动器等等等。

偌大的白纸上，密密麻麻的全是各种复杂的线条结构图和标注，看的直播间里面的观众眼花缭乱的。

【好复杂！】

【一个避震器而已，用得着这么多的零件吗？】

【空气弹簧？为啥主动避震器里面会这玩意？它不是被动隔振吗？】

【谢邀，人在直播间，蹲了快两年了，终于能有看得懂了。这个问题我来回答！】

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