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胡一亭视察了一遍重光中央研究院后,和研发人员们开了个碰头会,了解了一下目前的研发项目进度,会后和康耀祥吴市欢商量了下,决定由康耀祥吴市欢等五人和胡一亭一起,加入微电子所的技术攻关。
接下来两周,重光技术小组陷在微电子所里,和这里的技术人员一起工作。
胡一亭身披一套“国内IC业界绝顶天才神童”的伪装色,亲自对微电子所0.8微米集成电路技术的一系列工艺问题进行了解答,并亲自出手参与试验线路微调改造。
从无尘实验室出来,经过两道隔离门,胡一亭和吴登超、康耀祥等技术人员在更衣室内脱去厚重的防尘防静电工作服。
经过一天紧张劳累后,吴所长依然难掩兴奋之情:“胡一亭你太神了!你今天是怎么知道问题出在这台分步重复投影光刻机的物镜温度上的?”
胡一亭笑着掩饰道:“我也是猜的,之前几天我们已经把离子溅射机反复排查了几遍,调整了离子注入浓度,既然还是有问题,那就很可能是光刻机的投影线宽不稳定导致的,而且吴所你们发现没有,我们这几天连续流片104次,开始的48次,每次相隔一个小时,每小时的良品率虽然都不一样,但也出现了有规律的微弱波动,开始时,高值波峰总是在白天中午,波谷数据总是在凌晨以后。后来的46次流片中,机器连续运转,结果出现了一个明显的良品率先低后高再低的波动曲线,所以我猜很有可能是物镜过热,出现了工作温差,机器内部大约1摄氏度的温差下,物镜的投影宽度受到影响。”
康耀祥惊奇道:“所以你判断光刻机物镜的真空工作模式出现了问题,导致物镜无法恒温?”
吴市欢激动道:“结果胡总猜的真准,让光学所的工程师给关了真空泵,换了套静电离子气体循环系统,良品率一下子稳定在了最高值!这真是太神了!胡一亭你简直是个小狐狸!”
吴登超所长兴奋道:“经过昨晚到今天下午的连续调试,现在连续10次流片都能把良品率稳定在50%到55%!实在太棒了!好小子!干的好!神了!”
胡一亭的肚子突然发出一阵阵的咕噜声。
吴所问道:“你们都饿了吧?”
微电子所的高级工程师商祺一边换衬衣一边诉苦道:“中午大家嫌进进出出要换防尘服太麻烦,都没吃饭呢,所长,要不你给整个席面?咱们补充一下营养?”
吴市欢拉开西服前襟,摸着肚子道:“就是,都饿憋了!”
吴所哈哈大笑:“吃!好好吃!55%的良品率就意味着生产终于能够实现盈利了!怎么吃都不过分!胡一亭你说吧,想吃什么?”
吴所说完,从衣柜里拿出手表一看:“呀,都九点半了!咱们得抓紧。”
胡一亭疲惫地道:“熬夜熬得太累了,咱就别跑远了,所门口找个饭店,弄些小炒,吃完赶紧回来睡一觉。明天咱们继续接着干,把我说的气压补偿系统搞出来。这个循环泵我看有问题,气压不稳定。”
经过这两周的合作,商祺总工程师对胡一亭的能力已经达到了迷信的程度,聚精会神地听胡一亭说完,立刻道:“我晚上就安排人手,把气体循环系统上那套德州仪器的SE3111控制系统给换成国家航天局提供的卫星气压传感器和控制系统。”
胡一亭无力地点点头:“那就辛苦你了,不过航天局的那套系统不能直接用,我明天上午还得把气体补偿系统的处理器控制软件重新写一遍,今晚不行,我得睡一觉。”
吴所赶紧道:“对对,身体要紧,健康才是革命的本钱。”
吴市欢道:“我看了你之前写的工艺改进计划书,这个控制软件我觉得我也能写一部分,要不我连夜写,明天你帮我修改?”
康耀祥道:“要不请软研所帮个忙吧?这套系统的控制软件要重新编程,这起码要一个礼拜的功夫,之后还要结合系统调整运行参数,后面好多工作呢,光靠胡总工可不行。”
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