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第898章光刻机宏伟蓝图呈现（第1页）

十一年前徐国士总领光刻机研发的时候，手里汇总了当时国内各大研究所能够用于光刻机制造的华国最顶尖技术。

其中自然也包括了军方秘密研究部门在激光上面的研发成就。

正因为有着军方科研成就支持，徐国士团队很快就攻克了光刻机光源部分。

那时候徐国士就知道，华国的激光研究已经走在了世界前列。

在陈国泰提起西方光刻机光源之前，由于西方对有关光刻机的一切都封锁得十分严密，徐国士一直都不太清楚西方光刻机的光源构成。

现在听陈国泰这么一说，徐国士才无比惊讶地发现，华国已经在光刻机上运用了十年时间的氦—氖气体激光器不但没有落伍，现在居然还在领先！

这当然让徐国士由衷地感到自豪。

但在自豪之余，徐国士又为陈国泰的敏锐推测而感到无比吃惊。

“这其实并不难猜，很容易就推论出来......徐老师，根据我们得到的情报，目前西方光刻机的最大加工精度已经达到了0.8微米，也就是800纳米。不知道咱们光刻机的加工精度达到什么程度了？”

陈国泰微微摆了摆手，充满希冀地问道。

他如果没有记错的话，国内光刻机的最大加工精度在今年也要达到800纳米。

“......国外也是800纳米吗？小陈，实不相瞒，国内即使采用了大大优于高压汞灯的氦—氖气体激光器作为光源，最大精度也才刚刚达到800纳米......按理说，气体激光光源由于波长更加理想，最大加工精度在理论上可以达到200纳米左右......但是因为国家在精密加工上面的短板实在太明显，我们生产出的零部件精度远远不够，暂时只能达到这个程度......我们以后虽然可以在设计上继续深化，但是生产加工已经难以为继......就算不计损耗地堆积资源都不行。”

徐国士轻轻地摇了摇头，语气有点低沉，忧心忡忡地说道。

“......徐老师，根据情报，国外因为光刻机的研发需要，他们现阶段其实也开始了气体激光器的研究。如果他们研发成功，有他们的精湛精密加工技术支持，他们很快就要在光源方面赶上甚至超过我们华国。那时候，差距将更加明显。”

陈国泰略略沉默了一下，轻声说道。

他大概记得，西方世界在八十年代后期就开发出了光刻机第三代光源氟化氪准分子激光，将芯片最大加工精度一举提升到了180纳米左右。

前世的漂亮国在1988年投入首飞的B2隐形轰炸机，上面搭载的芯片就是192纳米制程。

“......是啊。国家在工业上欠缺得太多了。落下的‘课程’不知道要多久才能补完？”

徐国士油然叹息道。

“徐老师，我再给你透露一个西方光刻机研究的绝密情报。西方研发气体激光器的方向暂时是在氟化氪上面。据说氟化氪激光器的最大分辨率能够达到180纳米。他们更提出了氟化氩这个预研方向。据说氟化氩激光器的最大分辨率可以达到45纳米。我想这个消息应该对你具有一定的参考价值。”

陈国泰略微想了想，语气很是认真地对徐国士说道。

氟化氪光源是第三代光源，氟化氩是第四代。

虽然西方世界很大可能才刚开始研究氟化氪，氟化氩还连影子都没有，但并不妨碍陈国泰将这个消息提前透露给国家知道。

“真的吗？小陈，你提供的这个消息如果是真的，那价值就太重大了！我们正在探索怎么在氦—氖激光器基础上继续改进，你这一下子就指出了明确方向......”